全自動(dòng)固晶機(jī)的操作要點(diǎn)有哪些?
全自動(dòng)固晶機(jī)的主要結(jié)構(gòu)有材料載臺(tái)、點(diǎn)膠模組、取放點(diǎn)模組、人機(jī)控制系統(tǒng)、視覺系統(tǒng)、頂針系統(tǒng)、晶圓模組等。那么全自動(dòng)固晶機(jī)有哪些操作要點(diǎn)呢?
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一、調(diào)試步驟，PR學(xué)習(xí)：
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因每種晶片的反射光線強(qiáng)度、大小、間距不一樣，所以每次更換芯片時(shí)有必要進(jìn)行PR學(xué)習(xí)才可以。PR設(shè)置步驟：第一步把晶片的亮度、對(duì)比度調(diào)至晶片與藍(lán)膜清晰辨認(rèn)，再用搖桿把晶片移動(dòng)到十字光標(biāo)中心。
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第二步調(diào)節(jié)尋找單顆晶片范圍大小，把其方框調(diào)到和晶片一樣大即可。
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第三步調(diào)節(jié)PR精度，根據(jù)晶片反光度和清晰度來選擇PR精度大小。
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二、取晶路徑設(shè)置。首先把晶片移動(dòng)到十字光標(biāo)中心，用鼠標(biāo)單擊開始自動(dòng)教導(dǎo)系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)完成取晶路徑。
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三、三點(diǎn)校正 。何為三點(diǎn)校正：就是把吸晶鏡頭、吸晶點(diǎn)和頂針連成一線的調(diào)節(jié)過程以及把固晶鏡頭、固晶點(diǎn)和支架杯底中心連成一線的調(diào)節(jié)總稱，首先點(diǎn)擊操作界面位置調(diào)節(jié)按鍵系統(tǒng)彈出軸位置設(shè)定菜單，然后在設(shè)定軸處點(diǎn)擊擺臂旋轉(zhuǎn)找到吸晶位點(diǎn)擊，再點(diǎn)擊擺臂上下找到吸晶高度點(diǎn)擊。其次把吸嘴帽拆下，調(diào)節(jié)吸晶鏡頭的十字架在吸嘴反光點(diǎn)的中心。最后，把擺臂旋轉(zhuǎn)到吹氣位，用側(cè)燈照亮頂針帽，點(diǎn)擊設(shè)定軸的頂針然后點(diǎn)擊工作高度在視圖區(qū)找到頂針的針尖后，調(diào)節(jié)頂針座使針尖在十字架的中心。
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四、吸晶高度。擺臂高度在吸晶位和固晶位不同，首先調(diào)節(jié)吸晶位的高度
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1)把晶片移動(dòng)到鏡頭的中心用真空吸住藍(lán)膜
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2)先在設(shè)定軸處點(diǎn)擊擺臂旋轉(zhuǎn)點(diǎn)擊吸晶位，然后在設(shè)定軸處點(diǎn)擊擺臂上下找到吸晶位點(diǎn)擊，通過點(diǎn)擊“+”、“-”使吸嘴輕貼在晶片表面再點(diǎn)擊修改。
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3) 回原點(diǎn)，先點(diǎn)擊擺臂上下中的原點(diǎn)，然后再點(diǎn)擊擺臂旋轉(zhuǎn)中的原點(diǎn)。(順序不可調(diào)換)
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五、固晶高度。
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1)把支架輸送到壓叉位
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2)先在擺臂旋轉(zhuǎn)點(diǎn)擊固晶位，然后在設(shè)定軸處點(diǎn)擊擺臂上下找到固晶位點(diǎn)擊，通過“+”、“-”使吸嘴輕貼在支架杯底的表面再點(diǎn)修改。
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3)回原點(diǎn)，先點(diǎn)擊擺臂上下中的原點(diǎn)，然后再點(diǎn)擊擺臂旋轉(zhuǎn)中的原點(diǎn)。(順序不可調(diào)換)
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六、頂針高度。
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先把擴(kuò)好的晶片放入晶框內(nèi)，用真空吸住藍(lán)膜使晶片貼住頂針帽。然后操作界面點(diǎn)擊位置調(diào)節(jié)彈出軸位置設(shè)定菜單，點(diǎn)擊頂針找到工作高度點(diǎn)擊通過點(diǎn)擊“+”、“-”進(jìn)行調(diào)節(jié)二、全自動(dòng)固晶機(jī)安全注意事項(xiàng) ：
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1、工作前膠液必須充分?jǐn)嚢杈鶆颉?/span>
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2、調(diào)試機(jī)臺(tái)必須停機(jī)調(diào)節(jié)，加膠水也要停機(jī)。
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3、禁止一人調(diào)試機(jī)械，一人同時(shí)操作軟件。
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4、長發(fā)操作員注意頭發(fā)與機(jī)臺(tái)的風(fēng)扇、擺臂等活動(dòng)件的距離。
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5、設(shè)備控制電腦禁止安裝任何其他軟件。
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6、禁止改動(dòng)系統(tǒng)參數(shù)內(nèi)的任何參數(shù)。
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7、禁止擺放與機(jī)臺(tái)不相關(guān)物在臺(tái)面上，特別是液體類。
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8、關(guān)機(jī)順序：關(guān)閉系統(tǒng)退出軟件，再關(guān)馬達(dá)電源，后關(guān)電腦。
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9、每天做好日常保養(yǎng)，半年執(zhí)行一次二級(jí)保養(yǎng)。
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全自動(dòng)固晶機(jī)模塊化智能教導(dǎo)，設(shè)定簡單;可適應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)矩陣或不規(guī)則固晶。
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