固晶機(jī)機(jī)械結(jié)構(gòu)
1、晶片工作臺
包含晶片盤快速裝夾緊裝置以及X、Y軸移動(dòng)馬達(dá),主要是為了將晶片與晶片吸頭對準(zhǔn)提供硬件支持。
2、固晶材料工作臺
包含固晶材料固定裝置以及X、Y軸移動(dòng)馬達(dá),主要是為了將材料上需固晶位置分別移到點(diǎn)膠位及固晶位提供硬件支持,以便對材料上的固晶位置分別進(jìn)行銀膠涂覆及晶片粘貼工作。
3、點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)
包含銀膠旋轉(zhuǎn)臺及點(diǎn)膠擺臂旋轉(zhuǎn)馬達(dá),主要是為了將適量的銀膠涂覆于材料上的固晶位置提供硬件支持。 4、吸/固晶擺臂
包含真空吸頭及吸/固擺臂旋轉(zhuǎn)馬達(dá),主要是為了攝取晶片平臺上的晶片并將之安放在固晶材料上的已點(diǎn)好銀膠的固晶位上提供硬件支持。
5、頂針機(jī)構(gòu)
包含頂針及頂針升降裝置,主要是為了將粘于藍(lán)膜上的晶元頂起同時(shí)將藍(lán)膜穿孔以使吸嘴成功吸晶提供硬件支持。
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