自動固晶機(jī)常見故障排除法
三點(diǎn)校準(zhǔn)方法:
1).把貼有白色生料帶的薄鋼片放于頂針帽上.
2).進(jìn)入吸咀高度設(shè)定參數(shù)項(xiàng),使吸咀剛好接觸到鋼片表面.
3).用手指輕壓吸咀帽,使咀咀尖端在生料帶上印下一個(gè)“O”型痕跡.4).退出吸咀高度參數(shù),使擺臂回到原來位置.
5).調(diào)整晶片工作臺燈光,使顯視器上能清晰的看到一個(gè)“O”吸咀印,再調(diào)整攝像頭X/Y位置,使屏幕上“十”字線的中心點(diǎn)對準(zhǔn)“O”型印中心(新美化固晶機(jī)可以直接操作鼠標(biāo),將“十”字光標(biāo)對準(zhǔn)“O”型印的中心即可)6).將頂針帽上的鋼片拿開.
7).進(jìn)入頂針高度設(shè)定參數(shù),使頂針處于推頂高度.
8).調(diào)節(jié)晶片工作臺燈光,使頂針的反射圖像在屏幕上清晰可見
9).調(diào)節(jié)頂針模組XY工作臺,使頂針反光亮點(diǎn)與屏幕上“十”字線的中心點(diǎn)對準(zhǔn).10).退出設(shè)定參數(shù)功能菜單緊固各鎖緊螺絲,完成校準(zhǔn).
擺臂死位調(diào)整方法(作業(yè)員不可作調(diào)整)
將吸咀固定帽除去,在頂針座放上反光片,進(jìn)入取晶位置參數(shù),使吸咀中心孔能清楚的顯示在屏幕上,如加大Wafer的燈光亮度,使顯示器上的亮點(diǎn)清晰可見,用白板筆 (可擦掉的黑色水性筆)在顯示器上的亮點(diǎn)位置做下記號,定義此點(diǎn)為參考點(diǎn),并記錄此時(shí)取晶位的參數(shù)值。通過加大與減小取晶位置參數(shù)值,使亮點(diǎn)往返至參考點(diǎn)重合,然后將起始值到結(jié)束值的總馬達(dá)步數(shù)除以2,再加上原來位置的數(shù)值(前面記下的取晶位參數(shù)值),最后的數(shù)值勤即為吸晶位死位參數(shù)。如需要知道固晶位的死位值可以有兩種方法:一.種是位置觀察調(diào)整法(同上),另一種是總數(shù)分配法: AD892或AD8930V的吸晶死位到固晶死位總和為12000馬達(dá)步。AD809的為666馬達(dá)步。
1).把貼有白色生料帶的薄鋼片放于頂針帽上.
2).進(jìn)入吸咀高度設(shè)定參數(shù)項(xiàng),使吸咀剛好接觸到鋼片表面.
3).用手指輕壓吸咀帽,使咀咀尖端在生料帶上印下一個(gè)“O”型痕跡.4).退出吸咀高度參數(shù),使擺臂回到原來位置.
5).調(diào)整晶片工作臺燈光,使顯視器上能清晰的看到一個(gè)“O”吸咀印,再調(diào)整攝像頭X/Y位置,使屏幕上“十”字線的中心點(diǎn)對準(zhǔn)“O”型印中心(新美化固晶機(jī)可以直接操作鼠標(biāo),將“十”字光標(biāo)對準(zhǔn)“O”型印的中心即可)6).將頂針帽上的鋼片拿開.
7).進(jìn)入頂針高度設(shè)定參數(shù),使頂針處于推頂高度.
8).調(diào)節(jié)晶片工作臺燈光,使頂針的反射圖像在屏幕上清晰可見
9).調(diào)節(jié)頂針模組XY工作臺,使頂針反光亮點(diǎn)與屏幕上“十”字線的中心點(diǎn)對準(zhǔn).10).退出設(shè)定參數(shù)功能菜單緊固各鎖緊螺絲,完成校準(zhǔn).
擺臂死位調(diào)整方法(作業(yè)員不可作調(diào)整)
將吸咀固定帽除去,在頂針座放上反光片,進(jìn)入取晶位置參數(shù),使吸咀中心孔能清楚的顯示在屏幕上,如加大Wafer的燈光亮度,使顯示器上的亮點(diǎn)清晰可見,用白板筆 (可擦掉的黑色水性筆)在顯示器上的亮點(diǎn)位置做下記號,定義此點(diǎn)為參考點(diǎn),并記錄此時(shí)取晶位的參數(shù)值。通過加大與減小取晶位置參數(shù)值,使亮點(diǎn)往返至參考點(diǎn)重合,然后將起始值到結(jié)束值的總馬達(dá)步數(shù)除以2,再加上原來位置的數(shù)值(前面記下的取晶位參數(shù)值),最后的數(shù)值勤即為吸晶位死位參數(shù)。如需要知道固晶位的死位值可以有兩種方法:一.種是位置觀察調(diào)整法(同上),另一種是總數(shù)分配法: AD892或AD8930V的吸晶死位到固晶死位總和為12000馬達(dá)步。AD809的為666馬達(dá)步。
作者:超級管理員 | 分類:行業(yè)資訊 | 瀏覽:1989 | 評論:0
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